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產(chǎn)品名稱:GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
型號(hào):GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
規(guī)格:GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
備注:GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐
GWDL-雙層 CVD滑動(dòng)水平管式電爐

號(hào)

名稱

規(guī)格參數(shù)

材質(zhì)

數(shù)量

備注

1

130 爐膛組件

3 溫區(qū)/最高溫 1100℃

每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度 300mm/ 不要隔層

硅酸鋁

2 套

適配 130mm 外徑石英管

增配 30mm 直徑爐

膛兩端堵頭

3

130 預(yù)熱爐膛組件

1 溫區(qū)/ 預(yù) 區(qū) 長(zhǎng)

100mm,溫度 300-400℃

硅酸鋁

2 套

適配 130mm 外徑石英管

增配 30mm 直徑爐

膛兩端堵頭

3

130 爐殼

組件

適配 130 外徑石英管

Q235

2 套

鈑金加工

噴塑 9016 交通白

4

130 預(yù)熱

爐殼組件

適配 130 外徑石英管

Q235

2 套

鈑金加工

噴塑 9016 交通白

5

石英管

外徑?130mm

石英

2 根

預(yù)估長(zhǎng)度 3000mm

6

130 水冷

法蘭組件

適配 130 外徑石英管

SUS 304

4 套


7

30 法蘭組

適配 30 外徑石英管

SUS 304

4 套








8

滑軌滑塊

長(zhǎng)度 3500 滑軌/配 8 個(gè)滑塊

SUJ2

4 套


9

真空泵



2 臺(tái)


10

熱電偶

K 型


8 根


11

觸摸屏

屏幕箱和安裝支架

昆侖通態(tài)

2 個(gè)

可安裝型材上

12

溫控表

宇電


8 塊


13

過濾器



2 個(gè)


14

冷水機(jī)



1 臺(tái)

帶壓力壓縮機(jī)

15

PLC 組件

獨(dú)立電箱,西門子 S7-200 基礎(chǔ)版,24 伏電源等


2 套

尺寸依據(jù)支架寬度進(jìn)行設(shè)計(jì),便于懸掛安裝上下兩層右

側(cè)各放一套

16

壓力表



2 個(gè)


17

角閥


不銹鋼

4 個(gè)


18

波紋管

配合 KF25 接口連接,配套卡


2 根

長(zhǎng)度依據(jù)離地高度

就近原則

11

臺(tái)面板

1750x700x2(長(zhǎng) x 寬 x 厚)

SUS 304

6


10

型材支架

3500x700x2300(長(zhǎng) x 寬 x 高)

A6063-T5

1 套

上下兩層各放一套

爐子

11

坦克鏈

配合爐子滑動(dòng)使用


2 根